并“建议”他们可以尝试在PAG的分子结构中,
引入一个特定的“能量猝灭基团”,来抑制这种暗分解。
这个“神来之笔”,再次让PAG合成小组茅塞顿开,最终找到了一种能够将光刻胶室温储存寿命延长数倍的全新PAG分子!
而启明芯的“伏羲”AI超算平台,则在这场艰苦卓绝的“配方优化马拉松”中,再次扮演了超级加速器和智能导航员的关键角色!
顾维钧和他的团队,将每一次实验的详细工艺参数、所用材料的微观结构数据、以及最终光刻胶的各项性能指标,都源源不断地“喂”给“伏羲”AI。
“伏羲”则利用其强大的深度学习和高通量计算能力,在数以亿万计的可能配方组合和工艺参数空间中,
以一种近乎暴力美学的方式,进行着高效的虚拟试错和最优解搜索。
它能够精准地预测出,某种新型聚合物单体的引入,将对光刻胶的抗刻蚀能力和线边缘粗糙度,产生怎样的细微影响。
它也能够从数千种不同的溶剂和添加剂组合中,快速筛选出那个能够最大限度地提升光刻胶涂覆均匀性和显影对比度的“黄金配比”。
它甚至能够根据产线上不同光刻机的光源特性和镜头像差数据,反向推导和优化出针对特定设备的定制化光刻胶配方!
实验室里的星光,见证了科研人员们无数个不眠之夜的汗水与智慧。
每一次配方的微调,每一次参数的优化,每一次性能的提升,
都凝聚着整个团队对技术极致的追求和对国家使命的担当。
从V9.9版,到V9.9.1版,再到V9.9.8版……
然后是V10.0的诞生,再到V10.1、V10.5……
最后,在经历了长达数个月、数千次实验迭代、以及“伏羲”AI数百万亿次级别的复杂运算之后,
一款在分辨率、敏感度、工艺窗口、储存稳定性、线边缘粗糙度、以及生产成本和可量产性等所有核心指标上,
都达到了完美平衡和世界顶尖水平的、拥有数十项核心自主知识产权的高端ArF浸没式光刻胶最终定型配方,
终于在公元2013年盛夏的一个清晨,正式宣告诞生!
顾维钧亲自将这款凝聚了无数心血的最终配方,
命名为——“神农光刻胶 SP-28”!
这,不仅仅是一个产品代号,这更像是一面旗帜!
一面象征着华夏在核心半导体材料领域,
从仰人鼻息到自主掌控,再到引领未来的——伟大胜利旗帜!
“神农光刻胶 SP-28”的成功定型,标志着“星尘补天计划”的第一个、
也是最艰难的堡垒,已经被启明芯和华夏的科研天团,成功攻克!
这“从0到1”的伟大跨越,虽然只是万里长征的第一步,
但它所点燃的“星星之火”,必将以燎原之势,
照亮整个华夏半导体产业链自主崛起的漫漫征途!
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